特許
J-GLOBAL ID：200903096435984730
イオン電流安定化方法及びそれを用いたイオンビーム装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-012222
公開番号（公開出願番号）：特開平10-208652
出願日： 1997年01月27日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】流体金属イオン源を用いたイオンビーム装置のイオン電流安定化方法を提供する。【解決手段】液体金属イオン源2近傍に酸素を導入し、放出イオンをビーム制限アパチャ4などのイオン光学部品に照射し、放出される二次電子をエミッタ35に導き、液体金属表面の不溶性炭化被膜を酸素と上記二次電子との相互作用により除去し、清浄な液体金属表面を再生する。
請求項（抜粋）：
液体金属イオン源を用いたイオンビーム装置におけるイオン電流安定化方法において、上記液体金属イオン源の近傍に酸素を導入し、放出イオンが照射する光学部品からの二次電子を上記液体金属イオン源に導いて、上記液体金属表面の不純物を除去することを特徴とするイオン電流安定化方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
前のページに戻る
