特許
J-GLOBAL ID：200903096442107575
ドライフイルムレジスト
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 純博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-305337
公開番号（公開出願番号）：特開平6-161096
出願日： 1992年11月16日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】 従来のフォトレジスト層の上に保護フイルムを設ける工程を省略し、かつ産業廃棄物の軽減に寄与するドライフイルムレジスト(DFR)を提供する。【構成】 透明ベースフイルムの一つの表面にフォトレジスト層を塗設し、かつベースフイルムの他の表面にフォトレジスト層に対して離型性を奏する離型層を積層した複合フイルムからなり、該複合フイルムをロール状に巻いてフォトレジスト層を離型層で保護するようにしたことを特徴とするドライフイルムレジスト。
請求項（抜粋）：
透明ベースフイルムの一つの表面にフォトレジスト層を塗設し、かつベースフイルムの他の表面にフォトレジスト層に対して離型性を奏する離型層を積層した複合フイルムからなり、該複合フイルムをロール状に巻いてフォトレジスト層を離型層で保護するようにしたことを特徴とするドライフイルムレジスト。
IPC (4件)：
G03F 7/004 512
, B32B 27/00
, B32B 27/36
, H05K 3/00
