露光装置及び露光方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-094878
公開番号（公開出願番号）：特開平11-296922
出願日： 1998年04月07日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】【課題】構成簡素にして、記録用レーザ光のスポット系のばらつきや照射位置の位置ずれを高い精度で補正し、精度の良い潜像を形成することが可能な露光装置及び露光方法を提供する。【解決手段】光源2から出射されるレーザ光の光強度及び照射位置を補正する音響光学素子3と、この音響光学素子3を透過したレーザ光の一部を検出し、このレーザ光の光強度及び照射位置が所望のものとなるように音響光学素子を制御するフィードバック系とを備えるように露光装置1を構成する。

請求項（抜粋）：

光源から出射されたレーザ光を感光材層に照射し、この感光材層に所定のパターンの潜像を形成する露光装置において、上記レーザ光の光強度及び照射位置を補正する音響光学素子と、上記音響光学素子を透過したレーザ光の一部を検出し、このレーザ光の光強度及び照射位置が所望のものとなるように上記音響光学素子を制御するフィードバック系とを備えることを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

G11B 7/26 531 , G03F 7/20 505 , H01S 3/10

FI (3件)：

G11B 7/26 531 , G03F 7/20 505 , H01S 3/10 Z

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