特許
J-GLOBAL ID：200903096447212342
電界放出型冷陰極
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-088582
公開番号（公開出願番号）：特開平7-296717
出願日： 1994年04月26日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【目的】電界放出型冷陰極の製造工程における高融点金属層リフトオフ工程において、高融点金属層を残さなく完全に除去し、且つ処理時間を大幅に短縮する。【構成】電界放出型冷陰極のゲート電極外周部に島状または帯状の凸部パターンを形成する。また、凸部パターンの上面はゲート電極と同じ材質の導電層からなる。凸部パターンおよびゲート電極の周辺には、基板・ゲート電極間および基板・凸部パターン間に有する絶縁層が露出しており、前記絶縁層の外周には基板が露出している。
請求項（抜粋）：
導電体もしくは表面に導電性層を有する絶縁体からなる基板上に1つもしくは複数の先端の尖ったエミッタコーンと前記エミッタコーンの先端を取り囲む開口部を有するゲート電極と前記基板と前記ゲート電極間に絶縁層を有する電界放出冷陰極において、前記基板上の電界放出冷陰極のパターンが形成されない外周部に島状または帯状または櫛歯状の凸部パターンを有することを特徴とする電界放出型冷陰極。
引用特許：
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