特許
J-GLOBAL ID：200903096449289199
異物除去方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-001570
公開番号（公開出願番号）：特開平7-195046
出願日： 1994年01月12日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：
【要約】【目的】 この発明は、洗浄を繰り返す手間が省ける異物除去方法及び装置を得ることを目的とする。【構成】 導電性の針4と導電性の異物収集プレート8とを使用し、針4を帯電させてその先端を被加工物2上の異物Aに接近させ、該異物Aを上記針4の先端に吸着させてから、上記帯電した異物収集プレート8に針4の先端を接近させて上記異物Aを異物収集プレート8に吸着する。
請求項（抜粋）：
導電性の針と導電性の異物収集プレートとを用意し、上記針を帯電させてその先端を被加工物上の異物に接近させて該異物を上記針の先端に吸着させ、帯電させた上記異物収集プレートに上記異物を吸着した上記針の先端を接近させて上記異物を異物収集プレートに吸着させることを特徴とする異物除去方法。
IPC (2件)：
B08B 6/00
, H01L 21/304 341
