特許
J-GLOBAL ID:200903096456707451

波長安定化可干渉性光源装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊丹 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-200688
公開番号(公開出願番号):特開2001-027512
出願日: 1999年07月14日
公開日(公表日): 2001年01月30日
要約:
【要約】【課題】 任意の波長を指定して高速の波長安定化制御を行うことを可能とした波長安定化可干渉性光源を提供する。【解決手段】 注入電流により波長を可変制御できる半導体レーザ1の出力光の一部をビームスプリッタ3により分割して、干渉光学系5に導入する。干渉光学系5において二つの光束の光路長差に変化を与えて得られる干渉縞を変調するために、分割された二つの光路上にAOM54,55を配置し、一方にはEOM56を配置する。干渉光学系5から得られる干渉縞を受光素子7により受光し、得られた受光信号の位相を位相検出回路8により検出し、更に振幅抽出回路9により位相振幅を抽出する。その位相振幅が所定の設定値になるように、制御回路10により半導体レーザ1の注入電流を帰還制御することにより、波長を安定化する。
請求項(抜粋):
波長を可変制御できる駆動回路により駆動される可干渉性光源と、この可干渉性光源の出力光の一部を制御光として分割するビームスプリッタと、このビームスプリッタにより分割された前記制御光を更に二分割して、得られた二つの制御光を所定の光路長差を与えた後に合波して干渉縞を生じさせる干渉光学系と、この干渉光学系において前記光路長差に変化を与えることにより、得られる干渉縞を変調する変調手段と、前記干渉光学系から得られる干渉縞を受光する受光素子と、この受光素子から得られる受光信号の変調の度合を検知する復調手段と、この復調手段の出力が所定の設定値になるように、前記可干渉性光源の駆動回路の駆動条件を帰還制御する制御手段とを有することを特徴とする波長安定化可干渉性光源装置。
IPC (2件):
G01B 11/02 ,  G01B 9/02
FI (2件):
G01B 11/02 G ,  G01B 9/02
Fターム (21件):
2F064AA01 ,  2F064CC10 ,  2F064FF02 ,  2F064GG12 ,  2F064GG13 ,  2F064GG23 ,  2F064HH01 ,  2F064HH05 ,  2F064HH06 ,  2F065AA02 ,  2F065AA22 ,  2F065DD00 ,  2F065FF51 ,  2F065GG06 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ15 ,  2F065JJ23 ,  2F065LL00 ,  2F065LL12 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46

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