加水分解性シラン化合物およびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺喜平 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-146367
公開番号（公開出願番号）：特開2000-336093
出願日： 1999年05月26日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】アルカリ可溶性感光性レジスト等へ応用可能な分子内にイオウ原子を含み、分子末端にヒドロキシ基等を有する加水分解性シラン化合物及びその製造方法。【解決手段】式(1)または(2)で表される加水分解性シラン化合物等である。[式1中のX1〜X3は互いに独立である水素または一価の基で少なくとも一つは加水分解性基、R1は単結合またはニ価の有機基、R2〜R4は互いに独立である水素または一価の有機基、Yは水素または一価の基である。][式2中のX1〜X3、R1、およびYは式1と同様であり、R5は水素または一価の有機基である。]

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で表される加水分解性シラン化合物。【化1】[一般式(1)中のX1〜X3は、互いに独立である水素または一価の基であって、少なくとも一つは加水分解性基であり、R1は単結合またはニ価の有機基であり、R2〜R4は、互いに独立である水素または一価の基であり、Yは水素または一価の基である。]

IPC (3件)：

C07F 7/18 , C08F 30/08 , C08G 77/28

FI (3件)：

C07F 7/18 Q , C08F 30/08 , C08G 77/28

Fターム (42件)：

4H049VN01 , 4H049VP01 , 4H049VQ49 , 4H049VQ51 , 4H049VR20 , 4H049VR21 , 4H049VR40 , 4H049VR43 , 4H049VS48 , 4H049VS51 , 4H049VT40 , 4H049VT43 , 4H049VT44 , 4H049VT45 , 4H049VU20 , 4H049VW02 , 4H049VW33 , 4J035BA01 , 4J035BA11 , 4J035CA26N , 4J035CA261 , 4J035EA01 , 4J035EB02 , 4J035LA05 , 4J035LB16 , 4J100AF10P , 4J100AL08P , 4J100AP01P , 4J100AP02P , 4J100BA03P , 4J100BA12P , 4J100BA15P , 4J100BA16P , 4J100BA22P , 4J100BA41P , 4J100BA51P , 4J100BA55P , 4J100BA56P , 4J100BA77P , 4J100BC43P , 4J100CA01 , 4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開昭63-313793

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