特許
J-GLOBAL ID：200903096467848774
チップマッピング装置およびその方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-088070
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285531
出願日： 1995年04月13日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】 チップの画像データの取込みに際して、チップの移動を行なわず、高速でコンパクトなチップマッピング装置及びその方法を提供する【構成】 ウエハ保持手段51に保持されたウエハ26表面の映像をFθレンズ28を介して一対のガルバノミラー29および30で受像し、このガルバノミラー29および30を駆動することにより、受像を介してウエハ26表面を走査し、各チップの画像データを撮像する。【効果】 チップの画像データの取り込みが高速で誤りが少なく、ボールネジなどのXYテーブル移動機構が不要となり、このXYテーブル移動機構の摩耗粉を防ぐことができ、しかも装置の占有面積が小さい。
請求項（抜粋）：
チップの良否判定識別手段が付与されかつチップ形状に分割されたウエハを、前記チップ相互の位置を所定の関係に保って保持するとともに固定台上に配設するウエハ保持手段と、このウエハ保持手段に保持されたウエハ表面の映像を第1のレンズを介して受像しこの映像を所定の方向に光軸変換する光回路要素とこの光回路要素を駆動する駆動部と上記ウエハ表面を走査するように前記駆動部を制御する制御部とを有する映像走査手段と、この映像走査手段の光回路要素により上記所定の方向に変換された映像の光軸上に第2のレンズを介して配設され、上記映像走査手段により走査された上記ウエハ表面の映像を撮像する撮像手段と、この撮像手段からの画像情報を記憶する記憶部及び、上記制御部へ制御信号を発するとともに上記制御部から受けた制御情報と上記記憶部からの画像情報とに基づき上記チップの位置座標をまた上記記憶手段からの画像情報に基づき上記チップの良否をそれぞれ演算し各チップの良否と上記位置座標とを関連付け、この演算結果を上記記憶部に記憶させる中央処理装置を有する演算手段と、を備えたチップマッピング装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 H
, H01L 21/68 F
