特許
J-GLOBAL ID：200903096467880627
紫外線消去装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-305355
公開番号（公開出願番号）：特開平9-147586
出願日： 1995年11月24日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】紫外線ランプからの紫外線の発生効率が悪い為、装置のスループットが向上しない。【解決手段】紫外線ランプ3に接するラジエータ11を設け、温度センサ12によりランプの表面温度を測定し、表面温度を35〜50°Cとするように温度制御ユニット10で制御された冷却水9を流す。
請求項（抜粋）：
処理室内のステージ上に半導体ウェーハを並べ、このウェーハ上に設置された複数の紫外線ランプより紫外線を照射し、このウェーハに形成された記憶素子の情報を消去する紫外線消去装置において、前記紫外線ランプの表面温度を規定温度にする為のランプ冷却手段を設けたことを特徴とする紫外線消去装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G11C 17/00 530 G
, H01J 61/52 L
