特許

J-GLOBAL ID：200903096468278629

ウエハの洗浄方法

発明者： 浅田 和己
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-050506
公開番号（公開出願番号）：特開平9-246224
出願日： 1996年03月07日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】 ウエハの表面を損傷させることなく、金属や有機物の従来はブラシによってしか取り除くことなく出来なかった付着物をウエハを傷つけることなく取り除くことのできる洗浄方法を提供すること。【解決手段】 シャワーノズル装置23をウエハ21に対しfの方向に往復動させながらそのシャワーノズル部26の小孔26aから洗浄液をウエハ21の表面に噴出させる。

請求項（抜粋）：

ウエハの表面及び/又は裏面をシャワーノズルにより洗浄することを特徴とするウエハの洗浄方法。

IPC (4件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  B01J 19/10 ,  B08B 3/02

FI (4件)：

H01L 21/304 341 N ,  H01L 21/304 341 B ,  B01J 19/10 ,  B08B 3/02 C