特許
J-GLOBAL ID：200903096472356650
縦型熱処理炉用ボート
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-141413
公開番号（公開出願番号）：特開平8-008201
出願日： 1994年06月23日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】支柱との熱膨張率の違いによる半導体ウエハのスリップ、ワレ・カケの問題を生じることなく、支持板に多くの熱を吸収されることなく、ボート自体の重量が重くなることなく、半導体ウエハの重量が外周部に集中することなく、かつウエハ移載用治具による半導体ウエハの移載を容易にする縦型熱処理炉用ボートを提供する。【構成】支持板10が、互いに所定の角度を有して中心より外方向に向けて延在する第1、第2および第3の直線部11,12,13と、第1-第2-第3の直線部間の円弧状部14とから構成され、第3-第1の直線部間は空間状態になっている。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハを搭載する支持板と、前記支持板を固定する支柱とを有し、複数の前記支持板が前記支柱の長手方向に沿って配列されている縦型熱処理炉用ボートに於いて、前記支持板は、互いに所定の角度を有して中心より外方向に向けて延在する第1、第2および第3の直線部と、前記第1の直線部の先端部分と前記第2の直線部の先端部分との間および前記第2の直線部の先端部分と前記第3の直線部の先端部分との間を接続する円弧状部とから構成され、前記円弧状部の外周の所定部分が前記支柱は固定され、残りの前記第3の直線部の先端部分と前記第1の直線部の先端部分との間は前記円弧状部が存在しないで空間状態となっており、半導体ウエハが前記第1、第2および第3の直線部の上面上および前記円弧状部の内周側の上面部分上に搭載されることを特徴とする縦型熱処理炉用ボート。
IPC (3件)：
H01L 21/22 511
, H01L 21/31
, H01L 21/68
