特許
J-GLOBAL ID：200903096474984896
基板処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-295411
公開番号（公開出願番号）：特開平8-153768
出願日： 1994年11月29日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構成で基板搬送部と基板処理部との相対的な位置ずれを所定範囲内に維持できるようにする。【構成】 基板処理装置は、基板を搬送して処理する装置において、基板に所定の処理を施す複数の処理部を有する処理ユニット部3と、複数の処理部間において基板をハンド43a,43bにより下方から支持して搬送する基板搬送ロボットと、各処理部に対するハンド43a,43bの相対位置を検出する相対位置検出部29と、相対位置検出29の検出結果により、各処理部に対するハンド43a,43bの位置を調整する搬送制御部とを備えている。この装置では、ハンド43a,43bが各処理部に対向する位置に配置されると、相対位置検出部29がハンド43a,43bと処理部との位置ずれを検出して、位置ずれに応じてハンド43a,43bの位置決め位置を補正する。
請求項（抜粋）：
基板を基板処理部に搬入して所定の処理を行い処理後に該基板を基板処理部から搬出する基板処理装置において、基板を保持して基板処理部に搬入するとともに、基板処理部内の基板を受け取って基板処理部外に搬出する基板搬送部と、基板処理部に対する基板搬送部の相対的な位置を検出する位置検出手段と、位置検出手段の検出結果により、基板処理部に対する基板搬送部の相対的な位置を調整する調整手段と、を備えることを特徴とする基板処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 13/08
, B65G 49/07
