特許
J-GLOBAL ID：200903096475901960
形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-089676
公開番号（公開出願番号）：特開平10-281739
出願日： 1997年04月08日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：
【要約】【課題】 種々の形状の被検面に対し適用でき、複雑な手順を要せずに高精度な形状測定が可能な形状測定装置を提供する。【解決手段】 形状測定のための光を発生させる光源1と、メカニカスレンズ41と、レンズ41の中央部に形成されたゾーンプレート42とを有し、ゾーンプレート42が形成された中央部では光源1からの光をヌル波面に変換し、ゾーンプレート42が形成されていない外周部41bでは光源1からの光を球面波に変換する光学素子4とを備え、被検面7a上にレンズ41の外周部41bが焦点Oを結ぶときの被検面7aの位置において形状を測定する。
請求項（抜粋）：
被検面と略等しい形状のヌル波面を前記被検面で反射させたときの反射波面と、前記反射波面と比較されるべき参照波面との形状差に基づいて前記被検面の形状を測定する形状測定装置において、(a)形状測定のための光を発生させる光源と、(b)レンズおよび前記レンズの中央部に形成されたゾーンプレートを有し、前記ゾーンプレートが形成された中央部では前記光源からの光を前記ヌル波面に変換し、前記ゾーンプレートが形成されていない周辺部では前記光源からの光を球面波に変換する光学素子とを備え、(c)前記被検面上に前記レンズが焦点を結ぶときの前記被検面の位置を基準として、形状を測定する時の前記被検面の位置を特定することを特徴とする形状測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/24 D
, G01M 11/00 L
