感光性樹脂組成物及びこれを用いた積層体

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-187956
公開番号（公開出願番号）：特開平6-035190
出願日： 1992年07月15日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】光感度が高く、レジスト画像の密着性、解像性、保存安定性にすぐれすそ長さの短いレジスト画像を形成する感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 (A)カルボキシル基含有ポリマー、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和基を有する化合物、(C)一般式(I)等で表わされる光開始剤(R1はヘキシレン基等)を含有してなるアルカリ性水溶液に対して可溶又は膨潤可能な感光性樹脂組成物及びこれを支持体上に塗布、乾燥した積層体。

請求項（抜粋）：

(A)カルボキシル基含有ポリマー40〜80重量部、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和基を有する化合物20〜60重量部((A)と(B)との総量が100重量部となるようにする)、(C)一般式(I)で表わされる光開始剤を前記(A)と(B)との総量100重量部に対し0.05〜1.0重量部、【化1】(式中、R1は炭素原子数6〜12のアルキレン基を表わす)(D)一般式(II)で表わされる光開始剤を前記(A)と(B)との総量100重量部に対し1.0〜10.0重量部【化2】(式中、Ar1及びAr2はそれぞれ独立して、無置換フェニル基又は炭素原子1〜3のアルキル基若しくは炭素原子数1〜3のアルコキシ基で置換されたフェニル基を表わし、R2およびR3はそれぞれ独立して、炭素原子数1〜9のアルキル基を表わす)及び(E)一般式(III)で表わされる光開始剤を前記(A)と(B)との総量100重量部に対し0.01〜3.0重量部含有してなるアルカリ性水溶液に対して可溶又は膨潤可能な感光性樹脂組成物。【化3】(式中、R4、R5、R6及びR7はそれぞれ独立して水素原子又は炭素原子数1〜3のアルキル基を表わす)

IPC (5件)：

G03F 7/027 502 , G03F 7/004 512 , G03F 7/031 , G03F 7/033 , H05K 3/00

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-136942
特開平2-294302
特開平4-301644

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