特許

J-GLOBAL ID：200903096481044076

半導体装置

発明者： 前田 良徳
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-298733
公開番号（公開出願番号）：特開2004-134628
出願日： 2002年10月11日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：

【課題】半導体素子のみならず、プロセスモニタをも試験することができるスキャン回路を含む半導体装置を提供することを課題とする。【解決手段】半導体素子(203,207)と、半導体素子に接続可能であり、半導体素子の機能を試験するためのスキャン回路(220)と、スキャン回路が試験を行うパス中に設けられるプロセスモニタ(PM)とを有する半導体装置が提供される。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

半導体素子と、 前記半導体素子に接続可能であり、前記半導体素子の機能を試験するためのスキャン回路と、 前記スキャン回路が試験を行うパス中に設けられるプロセスモニタと を有する半導体装置。

IPC (5件)：

H01L21/822 ,  G01R31/28 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/66 ,  H01L27/04

FI (5件)：

H01L27/04 T ,  H01L21/66 F ,  H01L21/66 Y ,  G01R31/28 G ,  H01L21/88 Z

Fターム (24件)：

2G132AA00 ,  2G132AC14 ,  2G132AD15 ,  2G132AK07 ,  2G132AK13 ,  2G132AK22 ,  2G132AK23 ,  2G132AL12 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106AC01 ,  4M106AC02 ,  4M106AC04 ,  4M106AC08 ,  4M106AC12 ,  4M106CA15 ,  4M106CA16 ,  5F033VV12 ,  5F033XX37 ,  5F038DF01 ,  5F038DT06 ,  5F038DT12 ,  5F038DT15 ,  5F038EZ20