特許

J-GLOBAL ID：200903096485318804

ウェーハ面取機

発明者： 高谷 淳 ,  池田 一実
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-333424
公開番号（公開出願番号）：特開平10-175147
出願日： 1996年12月13日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：

【要約】【課題】シンプルな構成で、かつ、高精度なウェーハのセッティングを行なうことができるウェーハ面取機の提供。【解決手段】加工するウェーハWは、まず、アライメント部12の測定テーブル18上に載置され、その測定テーブル18の中心OT1に対するウェーハ中心OWのズレ量が測定される。その後、ウェーハWは、搬送部16によって加工部14の研削テーブル26上に搬送されるが、その搬送過程において、前記ウェーハ中心OW のズレを修正し、ウェーハWを研削テーブル26上の所定の位置に搬送する。

請求項（抜粋）：

回転自在な研削テーブル上に保持されて回転するウェーハの周縁に回転する砥石を当接させることにより、前記ウェーハの周縁を面取り加工するウェーハ面取機において、前記研削テーブルと所定距離離れた位置に設置され、加工前のウェーハが保持される測定テーブルと、前記測定テーブル上に保持されたウェーハの中心と前記測定テーブルの中心とのズレを測定する測定手段と、前記測定テーブル上に保持されたウェーハを前記研削テーブル上に搬送する搬送手段と、前記測定手段の測定結果に基づいて、前記ウェーハを前記研削テーブル上の所定の位置に搬送するように前記搬送手段を制御する制御手段と、を有することを特徴とするウェーハ面取機。