特許

J-GLOBAL ID：200903096485512880

アクチュエータ

発明者： 片山 晶雅 ,  佐藤 明生 ,  日比野 真吾
出願人/特許権者： 東海ゴム工業株式会社
代理人 (1件)： 西藤 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-178589
公開番号（公開出願番号）：特開2001-007419
出願日： 1999年06月24日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】全体が柔軟で、低電圧であっても、大きな変位を得ることができ、電磁波(特に可視光)や流体の流れの向き等を大きく走査することのできる、安価で経済的なアクチュエータを提供する。【解決手段】可撓性基板15の両面に圧電結晶薄膜16が形成され、この圧電結晶薄膜16に電極層20が形成された圧電素子21を備え、上記圧電素子21の圧電定数が0.1〜20pC/N、曲げ剛性が1.0×10-2〜1.0×103N・mmに設定されている。

請求項（抜粋）：

可撓性基板の片面もしくは両面に圧電結晶薄膜が形成され、この圧電結晶薄膜に電極が取り付けられた圧電素子を備え、上記圧電素子の圧電定数が0.1〜20pC/N、曲げ剛性が1.0×10-2〜1.0×103 N・mmに設定されていることを特徴とするアクチュエータ。

IPC (3件)：

H01L 41/18 ,  H01L 41/09 ,  H02N 2/00

FI (4件)：

H01L 41/18 101 A ,  H02N 2/00 B ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 Z