特許
J-GLOBAL ID：200903096490243170
走査型プローブ顕微鏡及びその測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-242147
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090284
出願日： 1996年09月12日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【課題】所望とする複数の測定部位に必要な範囲だけを走査範囲として設定し、当該走査範囲を容易に且つ一度に測定することで、走査時間を短縮する。【解決手段】CPU21は、光学顕微鏡14で予め距離の判っている校正用サンプルを撮像して光顕画像表示装置18に表示し、この表示画面上にて2点の座標を取り込み、当該2点の座標に基づいて上記表示画面の1画素当たりの実距離を演算して当該表示画面上の距離を実際の距離に換算し、光学顕微鏡14により所望とする試料4を撮像して光顕画像表示装置18に表示し、該表示画面上にて所望とする測定領域を指標により設定し、当該指標により示された測定領域において測定を行うよう制御する。
請求項（抜粋）：
補助観察手段により所望とする試料を撮像して表示手段に表示する第1のステップと、上記表示手段の表示画面上にて所望とする測定領域を指標により設定する第2のステップと、上記指標により示された測定領域において測定を行う第3のステップと、を有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の測定方法。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01B 21/30
G01N 37/00 A
, G01B 7/34 Z
, G01B 21/30 Z
