ガス中不純物の捕集方法及び装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-293581
公開番号（公開出願番号）：特開2001-113113
出願日： 1999年10月15日
公開日（公表日）： 2001年04月24日
要約：

【要約】【課題】気体中に含まれる不純物を効率的に捕集する。【解決手段】不純物捕集装置30は、気体流れを受け入れるチャンバ31と、チャンバ31に流体系を介して連絡した吸気ポンプ45と、チャンバ31の入口部に設けられた超音波ネブライザ53と、前記流体系に設けられた粒子分離筒35、39と、この粒子分離筒35の底部及び超音波ネブライザ53を連絡しフィルタ49を備えた液戻し管47とを有する。

請求項（抜粋）：

不純物を含む気体の流れの中に液体を霧滴状で注入し、霧滴状液体と結合した該不純物を慣性分離により該気体から分離することを特徴とするガス中不純物の捕集方法。

IPC (3件)：

B01D 47/06 , B01D 45/04 , G21F 9/02 521

FI (3件)：

B01D 47/06 Z , B01D 45/04 , G21F 9/02 521 Z

Fターム (9件)：

4D031AB16 , 4D031BA04 , 4D031BA10 , 4D031BB10 , 4D031DA04 , 4D032AA23 , 4D032AC08 , 4D032AC21 , 4D032BA06

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