特許

J-GLOBAL ID：200903096493094745

投影露光装置

発明者： 高橋 哲男 ,  李 世文
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-309677
公開番号（公開出願番号）：特開2000-138151
出願日： 1998年10月30日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】【課題】反射屈折光学系を投影光学系として用いる投影露光装置において、投影光学系の光学調整を容易に行うことが出来る技術を提供する。【解決手段】第1面Rの像を投影光学系を介して第2面W上に形成する投影露光装置において、投影光学系は、1個以上の光路偏向部材M1、M2と2個以上の光軸z1〜z3を有し、各光軸上に配置される光学部材は、各光軸に対応して設けられる各バレル1〜3によって保持され、バレル1〜3のうち少なくとも1個のバレル2は、対応する光軸z2を傾斜できるように、又は対応する光軸z2方向に並進できるように、調整装置7、8を備えていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

第1面の像を投影光学系を介して第2面上に形成する投影露光装置において、前記投影光学系は、1個以上の光路偏向部材と2個以上の光軸を有し、前記各光軸上に配置される光学部材は、各光軸に対応して設けられる各バレルによって保持され、前記バレルのうち少なくとも1個は、対応する前記光軸を傾斜できるように、又は対応する前記光軸方向に並進できるように、調整装置を備えていることを特徴とする投影露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G02B 7/02 ,  G02B 17/08 ,  G03F 7/20 521

FI (5件)：

H01L 21/30 515 D ,  G02B 7/02 C ,  G02B 17/08 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 517

Fターム (27件)：

2H044AA19 ,  2H044AC01 ,  2H044AC03 ,  2H044AE10 ,  2H087KA06 ,  2H087KA21 ,  2H087NA11 ,  2H087PA15 ,  2H087PA18 ,  2H087PB16 ,  2H087QA01 ,  2H087QA05 ,  2H087QA13 ,  2H087QA22 ,  2H087QA31 ,  2H087QA42 ,  2H087QA45 ,  2H087RA41 ,  5F046AA07 ,  5F046BA05 ,  5F046CA04 ,  5F046CB02 ,  5F046CB10 ,  5F046CB12 ,  5F046CB15 ,  5F046DA12 ,  9A001KK16