特許

J-GLOBAL ID：200903096496845687

微小機械式ディジタル加速度計

発明者： ロバート エム.ボイセル
出願人/特許権者： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-162482
公開番号（公開出願番号）：特開平8-043426
出願日： 1995年06月28日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：

【要約】【目的】 微小機械要素(20,30,60,70,120)を使って加速度を測定する装置。【構成】 一実施例では、1つ又は更に多くの加速度要素(10)を用い、各々の要素は、その両端が可撓性を持つ蝶番(13)で懸架された質量(12)を持っている。質量(12)は、加速度に応答して、軸線の周りに第1及び第2の回転方向に撓むことができる。更に各々の要素(10)が、質量(12)が何れかの方向に撓んだ時の質量(12)の撓みを感知する様に作用し得る電極(15)を持っている。検出回路(25,65,125)が、撓みが接触形、非接触形又はフィードバック形の何れであるかに応じて異なった形で動作する。

請求項（抜粋）：

質量(mass)を持つ、少なくとも1つの加速度に応答する要素と、当該蝶番(hinge )が変形していない時の通常の位置から移動する様に前記質量を支持し、加速力に応答して前記質量が前記通常の位置から移動する時には、いつでも変形する少なくとも1つの可撓性を持つ蝶番と、前記質量の下側にある電極と、該電極に電気接続されていて、前記質量が前記通常の位置から移動したことを検出する検出回路とを有する微小機械式ディジタル加速度計に於て、前記質量が撓む(deflect )時に前記質量が前記電極に向って撓むが、前記電極に接触せず、前記検出回路が前記質量のこの位置変化を検出する微小機械式ディジタル加速度計。

IPC (2件)：

G01P 15/02 ,  G01P 15/08