特許
J-GLOBAL ID：200903096503390976
静電吸着装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 重文 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-069767
公開番号（公開出願番号）：特開平6-278890
出願日： 1993年03月29日
公開日（公表日）： 1994年10月04日
要約：
【要約】【目的】 絶縁性搬送支持体に吸着される被吸着体の静電吸着力の増大を図った。【構成】 被吸着体2を静電吸着させる絶縁性搬送支持体1に、被吸着体2の吸着部より上流側で、該絶縁性搬送支持体1を帯電させる上流側帯電手段3と、前記被吸着体2の吸着部より下流側で、被吸着体2を挟んで、相互の異なる極性で帯電させる下流側帯電手段5とを設けた。
請求項（抜粋）：
絶縁性搬送支持体上に被吸着体を静電吸着させて搬送する静電吸着装置において前記被吸着体の吸着部より上流側に、前記絶縁性搬送支持体を帯電させる上流側帯電手段を設けると共に前記被吸着体の吸着部より下流側に、前記被吸着体を挟んで、相互に異なる極性で前記絶縁性搬送支持体を帯電させる下流側帯電手段を設けたことを特徴とする静電吸着装置。
IPC (3件)：
B65H 5/00
, G03G 15/00 108
, G03G 15/16
