特許

J-GLOBAL ID：200903096512130782

熱処理炉

発明者： 鈴木 雅行
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 宮本 治彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-143579
公開番号（公開出願番号）：特開平9-306860
出願日： 1996年05月13日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】温度均一性および温度応答性に優れた熱処理炉を提供する。【解決手段】熱処理炉500は、棒状ハロゲンランプ14、16と、反射板12、18と、石英ガラスチャンバ20と、均熱板兼間接ヒータ30とを備え、Siウェーハ50を均熱板兼間接ヒータ30内に設ける。均熱板兼間接ヒータ30に熱電対61乃至63を埋め込む。均熱板兼間接ヒータ30を高純度のSiCまたはSiからなり厚さ約1mm乃至5mmの薄板で構成する。Siウェーハ50の加熱は均熱板兼間接ヒータ30を介した間接加熱となり、温度均一性に優れる。また、基本的にランプ加熱であり、均熱板兼間接ヒータ30は熱容量が小さいので、急熱、急冷が容易となり優れた温度応答性が得られる。さらに、高純度のSiCやSiを使用しているので、Siウェーハ50への不純物による汚染が軽減される。

請求項（抜粋）：

被熱処理物をランプにより加熱する熱処理炉において、前記被熱処理物と前記ランプとの間に均熱板兼間接ヒータを設けたことを特徴とする熱処理炉。

IPC (4件)：

H01L 21/26 ,  H01L 21/22 501 ,  H01L 21/22 511 ,  H01L 21/324

FI (4件)：

H01L 21/26 L ,  H01L 21/22 501 A ,  H01L 21/22 511 A ,  H01L 21/324 D