特許
J-GLOBAL ID：200903096514953026
大気圧グロ-放電プラズマ用電極
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
田中 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-211419
公開番号（公開出願番号）：特開平6-096718
出願日： 1992年08月07日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【目的】本発明は大気圧プラズマを発生するために使用する大気圧グロ-放電プラズマ用電極に関し、特に電極間における空気をプラズマ発生用ガスと容易に置換でき、且つ安定なグロ-放電を行うようにしたプラズマ発生用電極に関する。【構成】 表面にセラミック溶射層を有する金属製パイプの多数を小間隔をもって互いに平行に並列に配設したことよりなる大気圧グロ-放電プラズマ用電極である。
請求項（抜粋）：
表面にセラミック溶射層を有する金属製パイプの多数を小間隔をもって互いに平行に並列に配設したことよりなる大気圧グロ-放電プラズマ用電極。
IPC (2件)：
引用特許：
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