特許
J-GLOBAL ID:200903096522914994
電磁波発生装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
光石 俊郎 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-041147
公開番号(公開出願番号):特開2002-246838
出願日: 2001年02月19日
公開日(公表日): 2002年08月30日
要約:
【要約】【課題】 モノリシックアンテナとしてパッチアンテナを採用した場合、製作プロセスが複雑になる、或いはアンテナの出力が低下するなどの問題を解決した安価なプロセスで形成可能な高出力のモノリシックパッチアンテナを提供することにある。【解決手段】 半導体基板6の同一面上にフォトダイオード3及びグラウンドプレーン5が形成されると共に前記グラウンドプレーン5上に低誘電率の誘電体膜4が形成され、更に、前記誘電体膜4上にパッチアンテナパタン1が設けられ、前記パッチアンテナパタン2と前記フォトダイオード3とは伝送路7及びビア2により接続されていることを特徴とする。
請求項(抜粋):
半導体基板の同一面上にフォトダイオード及びグラウンドプレーンが形成されると共に前記グラウンドプレーン上に低誘電率の誘電体膜が形成され、更に、前記誘電体膜上にパッチアンテナパタンが設けられ、前記パッチアンテナパタンと前記フォトダイオードとは伝送路及びビアにより接続されていることを特徴とする電磁波発生装置。
IPC (3件):
H01Q 23/00
, H01L 31/0232
, H01Q 13/08
FI (3件):
H01Q 23/00
, H01Q 13/08
, H01L 31/02 C
Fターム (12件):
5F088AB07
, 5F088JA14
, 5J021AA01
, 5J021AB06
, 5J021FA24
, 5J021HA05
, 5J021JA08
, 5J045AA05
, 5J045DA09
, 5J045EA07
, 5J045LA01
, 5J045LA03
引用特許: