特許

J-GLOBAL ID：200903096524524549

IC工場用清掃布

発明者： 三嶋 孝司 ,  宮村 悦史
出願人/特許権者： 帝人株式会社
代理人 (1件)： 白井 重隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-091558
公開番号（公開出願番号）：特開平5-261051
出願日： 1992年03月18日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：

【要約】【目的】 有機溶剤の適度な吸収性を有し、かつ発塵性の低いIC工場用清掃布を提供すること【構成】 単糸繊度が1.5〜10.0デニールのアセチルセルロース長繊維からなり、目付け20〜200g/m2 の不織布を基材として用いる。

請求項（抜粋）：

単糸繊度が1.5〜10.0デニールであるアセチルセルロース長繊維を構成素材とする目付20〜200g/m2 の不織布を基材とするIC工場用清掃布。

IPC (3件)：

A47L 13/16 ,  D04H 3/00 ,  H01L 21/304 341