特許

J-GLOBAL ID：200903096527863484

セラミックヒーター

発明者： 辻 昌宏 ,  高松 昇司
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 安富 康男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-279833
公開番号（公開出願番号）：特開2001-102153
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】 短時間で目的の温度に到達することや、耐久性に優れること等の機能的な特性に優れることは勿論、曲げ強度等の機械的特性に優れるセラミックヒーターを提供する。【解決手段】 主としてアルミナからなる基材中に、W、Re及びMoからなる群から選ばれる少なくとも1種を主成分とし、残部がセラミック成分からなる抵抗発熱体が埋設されてなるセラミックヒーターであって、前記アルミナからなる基材のX線回折における面間隔d=0.160nmのピークの半価幅が0.1〜0.2°の範囲内にあることを特徴とするセラミックヒーター。

請求項（抜粋）：

主としてアルミナからなる基材中に、W、Re及びMoからなる群から選ばれる少なくとも1種を主成分とし、残部がセラミック成分からなる抵抗発熱体が埋設されてなるセラミックヒーターであって、前記アルミナからなる基材のX線回折における面間隔d=0.160nmのピークの半価幅が0.1〜0.2°の範囲内にあることを特徴とするセラミックヒーター。

IPC (3件)：

H05B 3/12 ,  H05B 3/48 ,  C04B 35/495

FI (3件)：

H05B 3/12 A ,  H05B 3/48 ,  C04B 35/00 J

Fターム (23件)：

3K092PP16 ,  3K092PP20 ,  3K092QA01 ,  3K092QB02 ,  3K092QB03 ,  3K092QB24 ,  3K092QB45 ,  3K092QB62 ,  3K092QB74 ,  3K092QB76 ,  3K092RD09 ,  3K092TT30 ,  3K092VV31 ,  4G030AA11 ,  4G030AA23 ,  4G030AA24 ,  4G030AA36 ,  4G030BA01 ,  4G030BA18 ,  4G030GA14 ,  4G030GA17 ,  4G030GA20 ,  4G030PA22