特許

J-GLOBAL ID：200903096530629832

干渉測長システム

発明者： 伊藤 幹生 ,  中村 荘一 ,  杉森 四郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-163067
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003109
出願日： 1992年06月22日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：

【要約】【構成】可動ミラー(10,25)、参照ミラー(9,24)、および、これらのミラーのそれぞれに対して、光ビームを複数回往復させて干渉光を取り出す光学素子6,7,8,11,12を有する、X軸用およびY軸用の干渉計300と、被検物を搭載して、XY二軸に変位するXYテーブル500とを少なくとも有する。前記XYテーブル500は、前記X軸方向に変位するX軸テーブル40およびY軸方向に変位するY軸テーブル39を有する。該X軸テーブル40およびY軸テーブル39は、同一平面に設けられている。【効果】マルチパスの干渉計を使うことにより、高精度の計測が可能となる。また、支持部材により支持されたXYテーブルにより、薄く小型の形状となる。さらに、構成要素を共通基板上に配置したことにより、安定で、小型の干渉計となる。

請求項（抜粋）：

可動ミラー、参照ミラー、および、これらのミラーのそれぞれに対して、光ビームを複数回往復させて干渉光を取り出す光学素子を有する、X軸用およびY軸用の干渉計と、被検物を搭載して、XY二軸に変位するXYテーブルとを少なくとも有し、前記XYテーブルは、前記X軸方向に変位するX軸テーブルおよびY軸方向に変位するY軸テーブルを有し、該X軸テーブルおよびY軸テーブルは、同一平面に設けられていることを特徴とする干渉測長システム。

IPC (2件)：

G01B 9/02 ,  G12B 5/00