特許

J-GLOBAL ID：200903096530645013

エッチング装置

発明者： 神鳥 武文 ,  北澤 裕之 ,  矢部 学 ,  安藤 良一 ,  外海 正司
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-222183
公開番号（公開出願番号）：特開平6-041769
出願日： 1992年07月27日
公開日（公表日）： 1994年02月15日
要約：

【要約】【目的】 金属薄板を無端搬送ベルトに支持して搬送しながらエッチングを行なう装置において、エッチング液によって磁気ベルトが腐食したり、エッチングされた金属薄板の搬出に際して金属薄板に折れを生じたり、搬送中に金属薄板に傷や凹みが生じたりするのを防止し、搬送途中で金属薄板にしわが生じたりしないように円滑に金属薄板を搬送して、エッチングのむらを防止する。【構成】 シャドウマスク用板材40を支持して搬送する無端搬送ベルト14の内側に、その無端搬送ベルト14と共に周回移動しながらシャドウマスク用板材40に磁力を作用させる無端磁気ベルト22を配設する。

請求項（抜粋）：

一対のローラ間に周回移動自在に無端搬送ベルトを掛け渡し、その無端搬送ベルトに金属薄板を支持して搬送する搬送手段と、この搬送手段によって搬送される金属薄板の表面に対しエッチング液を供給するエッチング液供給手段と、を備えたエッチング装置において、前記搬送手段を、前記無端搬送ベルトの内側においてその無端搬送ベルトと共に周回移動しながら、金属薄板を前記無端搬送ベルトに支持する吸引力を金属薄板に対して作用させる無端磁気ベルトを前記無端搬送ベルトの平面部に沿って配設したことを特徴とするエッチング装置。

IPC (5件)：

C23F 1/08 102 ,  B65G 15/58 ,  B65H 20/06 ,  C23F 1/00 ,  H01J 29/07

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特公平1-026747
  
• 特開昭57-151511
  
• 特開平3-193153
  
• 特開昭50-039236