特許
J-GLOBAL ID:200903096531333260
圧電体素子形成用組成物、圧電体膜の製造方法、圧電体素子及びインクジェット記録ヘッド
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (4件):
宮崎 昭夫
, 金田 暢之
, 伊藤 克博
, 石橋 政幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-275751
公開番号(公開出願番号):特開2004-107181
出願日: 2002年09月20日
公開日(公表日): 2004年04月08日
要約:
【課題】ゾルゲル法で圧電性を有するペロブスカイト構造の結晶を得た場合にも、リーク電流のきわめて少ない圧電体膜、圧電体膜を含むことを特徴とする圧電体素子及びインクジェット記録ヘッドの提供を目的とする。【解決手段】圧電体素子形成用組成物において、有機金属化合物を原料として生成した組成物に含まれるハロゲン含有量を10ppm以下とする。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
金属化合物から得られる分散質を含む圧電体素子形成用組成物において、該組成物に含まれるハロゲン単体、ハロゲンイオン及びハロゲン化合物の合計含有量が10ppm以下であることを特徴とする圧電体素子形成用組成物。
IPC (8件):
C04B35/49
, B41J2/045
, B41J2/055
, B41J2/16
, C01G25/00
, H01L41/09
, H01L41/187
, H01L41/24
FI (7件):
C04B35/49 Z
, C01G25/00
, H01L41/18 101D
, H01L41/22 A
, H01L41/08 C
, B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
Fターム (20件):
2C057AF51
, 2C057AF93
, 2C057AG39
, 2C057AG44
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP52
, 2C057AP57
, 2C057BA03
, 2C057BA14
, 4G031AA11
, 4G031AA12
, 4G031AA32
, 4G031BA10
, 4G031CA08
, 4G048AA03
, 4G048AB02
, 4G048AC01
, 4G048AD02
, 4G048AE08
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