特許
J-GLOBAL ID:200903096534831911
圧電アクチュエータ及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-266384
公開番号(公開出願番号):特開平11-112046
出願日: 1997年09月30日
公開日(公表日): 1999年04月23日
要約:
【要約】【課題】 振動電極、圧電磁器層の構造が簡単で、圧電磁器に内部応力が発生せず、また、製造工程が非常に簡略化した圧電アクチュエータ及びその製造方法を提供することにある。【解決手段】 概略円筒状を成し、その肉厚部が、円周方向に連続した第1の圧電磁器層1a、第1の振動電極2a、第2の圧電磁器層1b、第2の振動電極2aが積層されて構成されているとともに、概略円筒状側面の端部に現れるが第1の振動電極2a及び第2の振動電極2bに各々端子電極3a、3bを形成した圧電アクチュエータ1である。
請求項(抜粋):
同芯円状に渦巻き状に巻回された第1の圧電磁器層及び第2の圧電磁器層と、前記第1の圧電磁器層と第2の圧電磁器層との間に形成されている第1の振動電極及び第2の振動電極から成り、前記第1の振動電極及び第2の振動電極の一部を周面に露出させるとともに、該露出部に端子電極を形成したことを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (3件):
H01L 41/083
, H01L 41/22
, H02N 2/00
FI (3件):
H01L 41/08 S
, H02N 2/00 Z
, H01L 41/22 Z
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