特許

J-GLOBAL ID：200903096537253951

固体撮像装置およびその製造方法

発明者： 上野 英浩
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-162653
公開番号（公開出願番号）：特開2002-359363
出願日： 2001年05月30日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：

【要約】【課題】集光効率を高めて感度を向上させつつ、安定した感度特性を得ることができる固体撮像装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】基板11に形成され、遮光膜17で光入射領域が特定された受光部12を有する固体撮像装置であって、入射した光を閉じ込め伝搬させて受光部12の光入射領域に導く光案内層を有する。例えば、光案内層は、受光部12の光入射領域上に形成された光透過膜21と、光透過膜21の側壁を囲むように形成された光反射膜22とを有する。

請求項（抜粋）：

基板に形成され、遮光膜で光入射領域が特定された受光部を有する固体撮像装置であって、入射した光を閉じ込め伝搬させて前記受光部の光入射領域に導く光案内層を有する固体撮像装置。

IPC (6件)：

H01L 27/14 ,  G02B 3/00 ,  G02B 5/08 ,  G02B 5/10 ,  H01L 27/148 ,  H04N 5/335

FI (8件)：

G02B 3/00 A ,  G02B 5/08 A ,  G02B 5/08 B ,  G02B 5/08 C ,  G02B 5/10 C ,  H04N 5/335 U ,  H01L 27/14 D ,  H01L 27/14 B

Fターム (44件)：

2H042AA02 ,  2H042AA15 ,  2H042AA18 ,  2H042AA21 ,  2H042DA02 ,  2H042DA12 ,  2H042DC02 ,  2H042DC11 ,  2H042DD10 ,  2H042DE00 ,  4M118AA01 ,  4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA13 ,  4M118CA03 ,  4M118CA34 ,  4M118CB13 ,  4M118CB14 ,  4M118DA03 ,  4M118DA19 ,  4M118DA27 ,  4M118DA32 ,  4M118DB06 ,  4M118DB08 ,  4M118DD03 ,  4M118EA02 ,  4M118FA06 ,  4M118FA26 ,  4M118FA35 ,  4M118FA45 ,  4M118GA08 ,  4M118GB03 ,  4M118GB08 ,  4M118GB11 ,  4M118GB19 ,  4M118GC08 ,  4M118GC09 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  4M118GD15 ,  5C024CY47 ,  5C024EX43 ,  5C024EX52 ,  5C024GX03