特許

J-GLOBAL ID：200903096543812750

光学装置

発明者： 尼子 淳 ,  三浦 弘綱 ,  曽根原 富雄
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-325993
公開番号（公開出願番号）：特開平5-157513
出願日： 1991年12月10日
公開日（公表日）： 1993年06月22日
要約：

【要約】【目的】 物体形状あるいはその変化を計測するための汎用的な光学装置を提供する。【構成】 コヒーレント光源と、干渉計と、前記干渉計で得られた干渉縞を入力する撮像素子と、前記干渉縞に対応する位相分布を表示するための液晶素子と、前記撮像素子と前記液晶素子を接続する回路を備えて成ることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

物体形状あるいは物体形状の変化を計測する技術に関し、コヒーレント光源と、干渉計と、前記干渉計で得られた干渉縞を入力する撮像素子と、参照光路と物体光路を分離し、かつ参照光の偏光方位と物体光の偏光方位を互いに直交させるための複屈折板と、前記干渉縞に対応する位相分布を表示するための液晶素子と、前記液晶素子のアドレス手段と、前記撮像素子と前記液晶素子とを接続する回路を備えて成ることを特徴とする光学装置。

IPC (4件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/00 ,  G02B 5/32 ,  G02F 1/13 505

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-021207
  
• 特開平3-245006
  
• 特表平1-502616