特許

J-GLOBAL ID：200903096546763229

ガラスセラミツク多層基板の製造方法

発明者： 肥田 勝春 ,  青木 重憲
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-207766
公開番号（公開出願番号）：特開平5-047960
出願日： 1991年08月20日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：

【要約】【目的】 ガラスセラミック多層基板の製造方法に関し、層間剥離を無くすることを目的とする。【構成】 ガラスとアルミナとの構成比率の異なる原料粉末に、バインダ,可塑剤および溶剤とを加え、混練してスラリーとし、このスラリーを用いて特性の異なるグリーンシートを形成した後、必要に応じてグリーンシートに導体ペーストを印刷してパターンニングし、このグリーンシートを積層し、加圧して一体化した後に焼成して多層基板を得る工程において、原料を混練してスラリーとする際に水と溶剤を加えて粘度の調整を行い、両種の焼成収縮率を近似させることを特徴としてガラスセラミック多層基板の製造方法を構成する。

請求項（抜粋）：

ガラスとアルミナとの構成比率の異なる原料粉末に、バインダ,可塑剤および溶剤とを加え、混練してスラリーとし、該スラリーを用いて特性の異なるグリーンシートを形成した後、必要に応じて該グリーンシートに導体ペーストを印刷してパターンニングし、該グリーンシートを積層し、加圧して一体化した後に焼成して多層基板を得る工程において、前記原料を混練してスラリーとする際に水と溶剤を加えて粘度の調整を行い、両種の焼成収縮率を近似させることを特徴とするガラスセラミック多層基板の製造方法。

IPC (5件)：

H01L 23/14 ,  B32B 18/00 ,  H01L 23/12 ,  H05K 1/03 ,  H05K 3/46

FI (2件)：

H01L 23/14 R ,  H01L 23/12 N