特許

J-GLOBAL ID：200903096552407132

MIS型冷陰極電子放出装置

発明者： 太田 好紀
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-147582
公開番号（公開出願番号）：特開平5-342995
出願日： 1992年06月08日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】ホットエレクトロンがゲート絶縁膜とゲート電極を突き抜ける確率を高め、もって冷陰極からの引き出し電流を高める。【構成】基板31に形成されたカソード電極37と、前記基板31上に極薄のゲート絶縁膜34を介して形成された極薄のゲート電極35と、前記カソード電極37と対向して設けられたアノード電極38とを具備し、前記カソード電極37,アノード電極38に電圧を印加することによりゲート絶縁膜34からアノード電極38へ電子を放出させるMIS型冷陰極電子放出装置において、前記基板31上に高抵抗層32を介して前記ゲート絶縁膜34とゲート電極35を設ける。

請求項（抜粋）：

基板に形成されたカソード電極と、前記基板上に極薄のゲート絶縁膜を介して形成された極薄のゲート電極と、前記カソード電極と対向して設けられたアノード電極とを具備し、前記カソード電極,アノード電極に電圧を印加することによりゲート絶縁膜からアノード電極へ電子を放出させるMIS型冷陰極電子放出装置において、前記基板上に高抵抗層を介して前記ゲート絶縁膜とゲート電極を設けたことを特徴とするMIS型冷陰極電子放出装置。