特許

J-GLOBAL ID：200903096559357220

照明光学装置及び露光装置

発明者： 工藤 祐司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-258125
公開番号（公開出願番号）：特開2001-085308
出願日： 1999年09月10日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】 照明光の回転対称性を高めることができると共に、小型化でメンテナンスが容易である照明光学装置を提供する。【解決手段】 基本波発生部100において、例えばDFB(Distributed feedback)レーザ等からの可視域から赤外域のレーザ光を分岐して、光ファイバー増幅器を有する複数の光増幅ユニットを用いて増幅して得られた光を、光ファイバー・バンドル19を介して波長変換部20に供給する。波長変換部20で紫外光に変換された露光光ILを偏光ビームスプリッタ106Aで2分割し、分割された2光束に90°の回転差を与えて合成した光をフライアイレンズ110に供給し、フライアイレンズ110からの露光光でレチクルRを照明する。

請求項（抜粋）：

照明光を発生する光源装置と、該光源装置からの照明光より複数の2次光源を形成するためのオプティカル・インテグレータと、前記複数の2次光源からの光束を集光して被照射面に導く集光光学系とを備えた照明光学装置において、前記光源装置から供給される照明光の光軸に垂直な面内での照度分布は非回転対称であり、前記光源装置と、前記オプティカル・インテグレータとの間に、前記照明光の非回転対称性を補正するための光束整形部を設けたことを特徴とする照明光学装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 502

FI (4件)：

H01L 21/30 527 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (6件)：

2H097CA12 ,  2H097CA17 ,  5F046CA03 ,  5F046CB04 ,  5F046CB13 ,  5F046CB15