特許

J-GLOBAL ID：200903096568190672

傾斜角位置決め装置

発明者： 北田 登志 ,  金田 善夫 ,  坂井 政俊 ,  石丸 幸久
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-287872
公開番号（公開出願番号）：特開平7-139929
出願日： 1993年11月17日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】 小型で誤差が生じにくく、人手によっても容易に傾斜角、傾斜向きを位置調整できるようにする。また、この位置調節を自動にて短時間で行えるようにする。【構成】 ステージ29の1点をこの1点での支点まわりに傾斜自由なように支持28し、他の2点をステージ29の支持高さを変えられる2つの進退部材30a、31aにて支持し、進退部材30a、31aを個別に進退駆動する進退駆動手段30、31を備えたことを第1の特徴とし、さらにステージ29上の傾斜角位置決め対象物25を撮像したときの干渉縞を計測する手段36と、この計測情報に基づいて傾斜角位置決め対象物25を所定の傾斜角および傾斜向きとするための2つの進退部材30a、31aの必要進退量を演算する手段37と、この演算結果に応じて駆動手段30、31を動作させる制御手段38とを備えたことを第2の特徴とする。

請求項（抜粋）：

位置決め対象物を支持するステージの1点をこの1点での支点まわりに傾斜自由なように支持し、ステージの他の2点を進退によりステージの支持高さを変えられるようにした2つの進退部材によってそれぞれ支持し、これら進退部材を個別に進退駆動して、ステージを前記支点まわりの所定の傾斜状態に設定する進退駆動手段を備えたことを特徴とする傾斜角位置決め装置。

IPC (4件)：

G01B 11/26 ,  G01B 5/00 ,  G05D 3/12 ,  H05K 13/04

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭62-274201
  
• 特開平3-033609
  
• 特開昭63-235806