特許

J-GLOBAL ID：200903096568784955

直接パターンライター

発明者： レッシュク,ウルフギャング ,  センフ,ウルフギャング ,  カトジール,イーガル
出願人/特許権者： レーザー・イメージング・システムズ・ゲーエムベーハー・ウント・カンパニー・カーゲー
代理人 (6件)： 社本 一夫 ,  増井 忠弐 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  宮前 徹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-555592
公開番号（公開出願番号）：特表2004-537060
出願日： 2002年01月02日
公開日（公表日）： 2004年12月09日
要約：

【解決手段】表面に亘ってビームを走査するための装置は、表面(1078)に亘ってパルス化レーザービーム(1016)を走査するスキャナー(1046)と、該表面に亘る複数の位置でパルス化レーザービームからの入力を受け取り、該表面に沿った該パルス化レーザービームの位置を示す、位置表示を出力する、位置表示手段(1080)と、を備える。位置表示は、表面上にパターンを露光するため、例えば感光性表面上に電子回路パターンを露光するため、装置データを変調するため使用される。そのような装置の一つの使用例が、電子回路の製造である。【選択図】図27

請求項（抜粋）：

表面に亘ってビームを走査するための装置であって、 表面に亘ってパルス化レーザービームを走査するスキャナーと、 前記表面の複数の位置で前記パルス化レーザービームからの入力を受け取り、前記表面に沿った前記パルス化レーザービームの位置を示す、位置表示を出力する、位置表示手段と、 を含んでいる、装置。

IPC (2件)：

G03F7/20 ,  H05K3/00

FI (3件)：

G03F7/20 511 ,  H05K3/00 H ,  H05K3/00 N

Fターム (3件)：

2H097AA03 ,  2H097BA02 ,  2H097CA17