特許
J-GLOBAL ID：200903096573230577
研磨シミュレーション方法および研磨シミュレーション方法を記録した記録媒体および研磨方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
外川 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-289350
公開番号（公開出願番号）：特開平11-126765
出願日： 1997年10月22日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：
【要約】【課題】従来は、研磨シミュレーションによる被研磨部の形状が、実測去れる形状と、所望の研磨範囲内で精度良く一致することができなかった。【解決手段】研磨布2と、被研磨材1とが接触する接触部での圧力を、被研磨材1または研磨布2を弾性率によって複数の部分に分割し、接触部を含み分割された部分の弾性率が、接触部を含み分割された部分に隣接する部分の弾性率よりも小さくなるように設定し、算出する第1の工程と、第1の工程によって算出された圧力から、接触部での研磨量を算出し、被研磨材1の形状を設定する第2の工程とを有する研磨シミュレーション方法であって、研磨シミュレーション方法による被研磨材1の形状と、実測された形状とが、所望の研磨範囲内で精度良く一致し、信頼性を向上することができる。
請求項（抜粋）：
研磨手段と、被研磨部とが接触する接触部での圧力を、前記被研磨部または前記研磨手段を弾性率によって複数の部分に分割し、前記接触部を含み分割された部分の弾性率が、前記接触部を含み分割された部分に隣接する部分の弾性率よりも小さくなるように設定し、算出する第1の工程と、前記第1の工程によって算出された圧力から、前記接触部での研磨量を算出し、前記被研磨部の形状を設定する第2の工程とを有することを特徴とする研磨シミュレーション方法。
IPC (3件)：
H01L 21/304 321
, B24B 49/00
, G06F 17/00
H01L 21/304 321 Z
, B24B 49/00
, G06F 15/20 D
