特許
J-GLOBAL ID:200903096573548534

外観検査装置用照明装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 青山 葆 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-097407
公開番号(公開出願番号):特開2001-281156
出願日: 2000年03月31日
公開日(公表日): 2001年10月10日
要約:
【要約】【課題】 表面反射率が異なった様々な被検物に対して、外観検査可能なコントラストで照明することができる外観検査装置用照明装置を提供する。【解決手段】 被検物1に対して照射された照明光を検出器40に導くことにより被検物1の表面性状を検査する外観検査装置に用いられる照明装置において、被検物1の検査領域3表面を照明して、その反射光を検出器40に導く直接照明手段31と、被検物1の検査領域3裏面を照明して、その透過光を検出器40に導く間接照明手段32とを備える。
請求項(抜粋):
被検物に対して照射された照明光を検出器に導くことにより被検物の表面性状を検査する外観検査装置に用いられる照明装置において、被検物の検査領域表面を照明して、その反射光を検出器に導く直接照明手段と、被検物の検査領域裏面を照明して、その透過光を検出器に導く間接照明手段とを備えることを特徴とする外観検査装置用照明装置。
IPC (2件):
G01N 21/90 ,  G06T 1/00 420
FI (2件):
G01N 21/90 A ,  G06T 1/00 420 F
Fターム (15件):
2G051AA12 ,  2G051AA16 ,  2G051AB02 ,  2G051AB11 ,  2G051BA01 ,  2G051BB01 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051DA08 ,  5B047AA07 ,  5B047AA11 ,  5B047BB02 ,  5B047BC12

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