特許
J-GLOBAL ID：200903096581217180
基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-270278
公開番号（公開出願番号）：特開平7-176513
出願日： 1988年04月04日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：
【要約】【目的】 被処理基板の欠損を防止し、基板装填時の取り扱い性が良く、かつ、キャリアレス化に対応することができる基板処理装置を提供する。【構成】 被処理基板群Wを立設保持する基板保持杆7と、基板群Wの上方周縁を支持する位置変更可能な可動基板保持杆10と、基板保持杆7および可動基板保持杆10を支持して基板群Wの重心近くを通る回転軸心周りで回転可能な両軸支持構造の一対の回転軸とを備えたロータ2を、カバー17を有するハウジング1内に収納し、前記回転軸に連動連結された駆動機構でロータ2を高速回転することにより基板群Wを水切り乾燥する。そしてカバー17が開放された状態で、一対の挟持アーム21により基板群Wを一括挟持してハウジング1内に基板群を搬入/搬出する。
請求項（抜粋）：
複数枚の被処理基板をその下方外周縁で支持して対面並列状に立設保持する基板保持杆と、基板上方外周縁を支持する支持位置と基板保持杆上への基板出入りを許す後退位置とに位置変更可能な可動基板保持杆と、基板保持杆および可動基板保持杆を支持して被処理基板群の重心近くを通る回転軸心周りで回転可能な両軸支持構造の一対の回転軸と、上記基板保持杆と可動基板保持杆と回転軸とを備えるロータを収納し、上方に開閉可能なカバーを有するハウジングと、前記回転軸を高速回転駆動する駆動機構と、前記ハウジングのカバーが開放された状態において、その開放部分から、基板を挟持してハウジング内部に進入して前記基板保持杆上に基板を渡し、また、前記基板保持杆上の基板を挟持してハウジング内部から基板を搬出する基板搬送機構と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (5件)：
H01L 21/304 361
, B04B 3/00
, F26B 5/08
, F26B 11/08
, H01L 21/68
