特許
J-GLOBAL ID：200903096582780911
電子ビームプロービング装置の二次電子エネルギー分析器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-307966
公開番号（公開出願番号）：特開平5-144401
出願日： 1991年11月22日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：
【要約】【目的】 本発明は電子ビームプロービング装置の二次電子エネルギー分析器に関し、給電経路の信頼性の向上を実現することを目的とする。【構成】 給電用電線36を、電子ビームプロービング装置の下面から挿入されて組込まれる筒体31の壁32の内部に設けて構成する。接触ピン37を、上記給電用電源と接続させて上記筒体31の上端面33に設けて構成する。上記筒体31の壁32をその厚さ方向に貫通するスルーホール35内に、銀ペースト(導電性ペースト)39が充填してあり、この銀ペースト(導電性ペースト)39が、上記給電用電線36と上記筒体内にグリッドと共に取付けられた電極リング25とを導通接続するよう構成する。
請求項（抜粋）：
電子ビームプロービング装置本体(2)の下面から挿入されてレンズ(4,5)の内側に組込まれる筒状の二次電子エネルギー分析器(30)において、給電用電線(36)を、筒体(31)の壁(32)の内部に設けると共に、接触ピン(37)を、上記給電用電線と接続して上記筒体(31)の上端面(33)に設け、且つ上記筒体の壁をその厚さ方向に貫通するスルーホール(35)内に、該給電用電線と、上記筒体内にグリッドと共に取付けられた電極リング(25)とを導通接続する接続部材(39,50)を設けてなる構成としたことを特徴とする電子ビームプロービング装置の二次電子エネルギー分析器。
IPC (4件)：
H01J 37/244
, G01T 1/28
, H01J 37/28
, H01L 21/66
