多段式クライオポンプおよび多段式クライオポンプの吸着面の再生方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋敬四郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-126450
公開番号（公開出願番号）：特開平5-321832
出願日： 1992年05月19日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：

【要約】【目的】クライオパネルの再生を短時間にしかも確実に行なうことができる多段式クライオポンプおよび多段式クライオポンプの吸着面の再生方法を提供する。【構成】低温を発生する膨張室(7)と、膨張室により冷却されるクライオパネル(6)と、クライオパネルの吸着面の再生時に膨張室と連通するガス室(11)と、膨張室とガス室との間の弁(10)とを備えることを特徴とする多段式クライオポンプ。弁(10)を開いて膨張室(7)とガス室(11)とを連通してクライオパネル(6)の温度を所定温度に上昇させることによってクライオパネルに固化捕捉および吸着されていたガスを放出させる工程と、弁を閉じる工程とを備え、上記工程の間、クライオポンプの運転を継続することを特徴とする多段式クライオポンプの吸着面の再生方法。

請求項（抜粋）：

低温を発生する膨張室と、前記膨張室により冷却されるクライオパネルと、前記クライオパネルの吸着面の再生時に前記膨張室と連通するガス室と、前記膨張室と前記ガス室との間の弁とを備えることを特徴とする多段式クライオポンプ。

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