特許
J-GLOBAL ID：200903096615299904
X線多層膜反射鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠原 泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-194329
公開番号（公開出願番号）：特開平5-034500
出願日： 1991年08月02日
公開日（公表日）： 1993年02月09日
要約：
【要約】【目的】 実用的な反射率を有する多層膜反射鏡を高い確率で製作でき、結果として歩留りを改善する多層膜反射鏡を提案する。【構成】 基板上に複数の物質層を形成して成る波長100Å以下のX線に対する多層膜反射鏡において、各層の膜厚の設計値からのずれ△を、以下の式で規定される範囲内に制御する。但し、θは入射するX線の斜入射角、λは入射するX線の波長である。
請求項（抜粋）：
基板上に複数の物質層を形成して成る多層膜反射鏡であって、各層の膜厚の設計値からのずれ△が、以下の式で規定される範囲内に制御されていることを特徴とする、波長100Å以下のX線に適する多層膜反射鏡。但し、θは入射するX線の斜入射角、λは入射するX線の波長である。
引用特許：
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