特許
J-GLOBAL ID：200903096615676163
静電チャック装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-348267
公開番号（公開出願番号）：特開平10-189697
出願日： 1996年12月26日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】双極型の静電チャックにおいて、誘電体層に極性差が発生したとしても常に均一な吸着力が得られるようにする。【解決手段】保持面5を有する誘電体層3の下面に、正電圧印加用の第1の吸着用電極4aと、負電圧印加用の第2の吸着用電極4bをそれぞれ備えてなる静電チャック1と、上記第1の吸着用電極及び第2の吸着用電極にそれぞれ流れる電流値を測定する検出手段と、これらの検出手段からの信号値に基づいて上記第1の吸着用電極4a及び第2の吸着用電極4bにそれぞれ流れる電流値の絶対値がほぼ等しくなるように両吸着用電極に印加する電圧値を調整する制御手段とから静電チャック装置を構成する。
請求項（抜粋）：
保持面を有する誘電体層の下面に、正電圧を印加するための第1の吸着用電極と、負電圧を印加するための第2の吸着用電極をそれぞれ備えてなる静電チャックと、上記第1の吸着用電極及び第2の吸着用電極にそれぞれ流れる電流値を測定する各検出手段と、これらの検出手段からの信号値に基づいて上記第1の吸着用電極及び第2の吸着用電極にそれぞれ流れる電流値の絶対値がほぼ等しくなるように両吸着用電極に印加する電圧値を調整する制御手段とからなる静電チャック装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 R
, H02N 13/00 D
