特許

J-GLOBAL ID：200903096623531123

走査型トンネル顕微鏡

発明者： 河出 一佐哲 ,  瀧本 清 ,  貴志 悦朗 ,  矢野 亨治
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-312403
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160076
出願日： 1992年11月20日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：

【要約】【目的】 走査型トンネル顕微鏡を、ズレのないきれいな走査型トンネル顕微鏡像を得ることができるようにする。【構成】 走査型トンネル顕微鏡10は、互いに隣り合う分割観察領域が部分的に重複するよう試料1の観察領域を複数の分割観察領域に分割し、分割観察領域ごとに各探針111,112を試料1の表面に沿って走査させるようにXY走査駆動回路20を制御する観察領域分割装置21と、サーボ回路19から送られてくるZ軸方向移動量信号SZ1,SZ2より第1乃至第4の分割観察像P1〜P4を作成するマイクロコンピューター22と、各分割観察像P1〜P4をそれぞれ記憶する観察像蓄積装置23と、記憶された各分割観察像P1〜P4を読み出して補正動作を行う補正装置24と、補正された各分割観察像P1〜P4を結合して走査型トンネル顕微鏡像Pを作成する観察像結合装置25とを含む。

請求項（抜粋）：

試料と探針との間に流れるトンネル電流を利用して該試料の表面を観察する走査型トンネル顕微鏡において、互いに隣り合う分割観察領域が部分的に重複するよう前記試料の観察領域を複数の分割観察領域に分割し、該分割観察領域ごとに前記探針を前記試料の表面に沿って走査させる観察領域分割手段と、前記分割観察領域ごとに前記探針を走査させたときに前記試料と前記探針との間に流れるトンネル電流から分割観察像をそれぞれ作成する分割観察像作成手段と、該分割観察像作成手段で作成された前記各分割観察像が記憶される観察像蓄積手段と、該観察像蓄積手段から読み出した分割観察像の、該分割観察像に対応する分割観察領域と互いに隣り合う分割観察領域について作成された分割観察像と部分的に重複する部分を補正する補正手段と、該補正手段で補正された前記各分割観察像を結合する観察像結合手段とを含むことを特徴とする走査型トンネル顕微鏡。

IPC (2件)：

G01B 21/30 ,  H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-287006
  
• 特開平3-140805
  
• 特開平1-216204