特許
J-GLOBAL ID：200903096624387891
薬液供給装置および液漏れセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-124132
公開番号（公開出願番号）：特開平7-332598
出願日： 1994年06月07日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：
【要約】【目的】 薬液を供給する管路における薬液の漏洩を防止し、また漏洩箇所が速やかに発見できる薬液供給装置を提供する。【構成】 薬液を供給する薬液供給部2と、この薬液供給部2から薬液の供給を受けて被処理物の処理を行う処理部1と、不活性ガスを供給するガス供給部11と、同軸的に設けられた内管と外管の二重構造とされて内管が薬液供給部2および処理部1に接続され、且つ外管が気体供給部11に接続された管路3とからなっている。そして、薬液が内管中を通って処理部1に送給されると同時に不活性ガスが外管中を通って外部に排出されるものである。外管は、透明性を有するビニール樹脂またはフッ素樹脂より構成する。
請求項（抜粋）：
薬液を供給する薬液供給部と、前記薬液供給部から薬液の供給を受けて被処理物の処理を行う処理部と、気体を供給する気体供給部と、同軸的に設けられた内管と外管の二重構造とされて前記内管が前記薬液供給部および前記処理部に接続され、且つ前記外管が前記気体供給部に接続された管路とからなり、薬液が前記内管中を通って前記処理部に送給されると同時に気体が前記外管中を通って外部に排出されることを特徴とする薬液供給装置。
IPC (4件)：
F17D 3/01
, F16L 9/12
, F16L 9/18
, F17D 5/02
