特許
J-GLOBAL ID：200903096630445860
ブラシ洗浄装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-179496
公開番号（公開出願番号）：特開平6-029267
出願日： 1992年07月07日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【目的】基板全面で洗浄が均一で、ダストの発生率の低いブラシ洗浄装置を提供する。【構成】植毛した網目状の柔軟なブラシプレート8と、ブラシプレート8を平行に保持して略円弧運動する機構と、ブラシプレート8に洗浄液を送り、同時に圧力をかける給液機構と、ガラス基板1の送り機構とを設けた構成とする。
請求項（抜粋）：
被洗浄物を搬送する搬送機構と、透液性を有し、面に垂直方向に可接性を有するブラシプレートと、ブラシプレート裏面より洗浄液を供給する給液機構と、被洗浄物とブラシプレートに、被洗浄物に対して平行な略円弧軌跡の相対運動を与える運動機構とを有するブラシ洗浄装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, G03F 7/30
