特許

J-GLOBAL ID：200903096631180771

所定物体の光学像に基づき情報を得る装置、及び方法

発明者： ポール・デレック・クーン
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-036549
公開番号（公開出願番号）：特開平11-316108
出願日： 1999年02月15日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：

【要約】【課題】 アライメント・プロセスにおける再生性の系統誤差を特定し、較正するための手段を開発する。【解決手段】 実際の光学像に類似した像を生じそうな1つ以上の初期候補物体を立てる。そのような候補物体の画像をフーリエ処理によってシミュレートまたは計算する。その計算画像と実際の像との相関を取り、相関結果が許容できなければ、1つ以上のより良い候補物体を新たに立てる。このプロセスを、実際の像と最良の相関を示す計算画像が見つかるまで繰り返す。最良相関を示す像を生じるその候補物体が実際の物体を表す。

請求項（抜粋）：

所定物体の光学像に基づき種々の情報を得る装置であって、前記所定物体の光学像に関する第1情報を獲得する獲得手段と、少なくとも1つの候補物体の形状に関する情報に基づき、該候補物体の光学像に関する第2情報を獲得する第1手段と、前記第1情報と前記第2情報との相関をとり、該相関結果に基づき前記種々の情報を獲得する第2手段と、を有することを特徴とする装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G01B 11/00 H ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 520 A ,  H01L 21/30 525 W