特許
J-GLOBAL ID：200903096633305911
レーザ照射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-075492
公開番号（公開出願番号）：特開平6-285664
出願日： 1993年04月01日
公開日（公表日）： 1994年10月11日
要約：
【要約】【目的】 単位面積当たりのエネルギー量が一定になるような照射を行えるレーザ照射装置を提供する。【構成】 強さ可変のレーザ光を発するレーザ光源51、ワーク52、ワーク52を固定する固定ベッド53、固定ベッド53に固定された架台54、固定ベッド53上にありY1、Y2方向に平行に設置された第一の案内55、案内55上をY1、Y2方向に往復運動可能な第一のステージ56、第一のステージ56をY1、Y2方向に駆動する駆動手段57、第一のステージ56上にありX1、X2方向に平行に設置された第二の案内58、第二の案内58上をX1、X2方向に往復運動可能な第二のステージ59、第二のステージ59をX1、X2方向に駆動する駆動手段60、第二のステージ59上にありレーザ光源51からくるレーザ光をZ2方向に曲げる第一の光学部材61、第二のステージ57上で固定されたビーム形成手段63とからなる。
請求項（抜粋）：
ワークの所定の位置を集積したレーザ光で小面積のビームを重ねながらスキャンさせ照射し、ワークの加工を行うレーザ照射装置において、前記レーザ光の出力を可変的に第一の方向に発するレーザ光源と前記ワークを保持する第一のステージと、前記第一のステージを前記第一の方向に垂直な第二の方向に往復運動可能な第一の案内と、前記第一のステージを前記第二の方向に往復運動させる第一の駆動手段と、前記ワークに対向して設置された架台と、前記架台上に前記第一の方向に平行に設置された第二の案内と、前記第二の案内上を前記第一の方向に往復運動可能な第二のステージと、前記第二のステージを前記第一の方向に駆動する第二の駆動手段と、前記第二のステージに固定された前記レーザ光を前記第一の方向と前記第二の方向に直角な第三の方向に曲げる第一の光学部材と、前記第二のステージ上にあり前記第一の光学部材の前記第三の方向に平行に配置されたビーム形成手段と、前記ビーム形成手段の透過前または透過後の前記レーザ光のエネルギー密度を計測する第一の計測手段もしくは、前記レーザ光源から前記第二の光学部材までの光路長を計測する第二の計測手段と、前記第一の計測手段または前記第二の計測手段より前記レーザ光源の出力を可変にする制御手段を備え、集光された前記レーザ光で前記ワークの所定の位置を照射することを特徴とするレーザ照射装置。
IPC (2件)：
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